Настоящий стандарт устанавливает метрологические характеристики и методы испытаний чистых помещений и чистых зон для определения класса чистоты. В стандарте приведены методы испытаний для двух типов чистых помещений и чистых зон (с однонаправленным и неоднонаправленным потоком воздуха) и для трех состояний чистого помещения (построенное, оснащенное, эксплуатируемое).
Стандарт устанавливает требования к оборудованию и методикам испытаний. Для тех случаев, когда особенности чистого помещения или чистой зоны оказывают влияние на метод испытаний, предложены альтернативные методики. Для некоторых видов испытаний могут использоваться различные методики и типы оборудования. Альтернативные методы, не включенные в настоящий стандарт, могут применяться по соглашению между заказчиком и исполнителем. Альтернативные методы не всегда обеспечивают эквивалентность измерений.
В настоящем стандарте не рассматриваются методы испытаний продукции и технологических процессов в чистых помещениях или изолирующий устройствах.
Содержание:
1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Методы испытаний
4.1 Методы испытаний чистых помещений
4.1.1 Обязательные методы
4.1.2 Дополнительные методы
4.2 Характеристики методов испытаний
4.2.1 Определение концентрации аэрозольных частиц
4.2.2 Анализ воздушных потоков
4.2.3 Перепад давления
4.2.4 Целостность установленной системы фильтрации
4.2.5 Направление потока воздуха, визуализация потока
4.2.6 Однородность температуры и влажности
4.2.7 Статическое электричество и генерация ионов
4.2.8 Осаждение частиц
4.2.9 Время восстановления
4.2.10 Герметичность ограждающих конструкций
5 Протокол испытаний
Приложение А (справочное) Выбор методов испытаний чистых помещений и последовательность их проведения
Приложение В (справочное) Методы испытаний
Приложение C (справочное) Оборудование для проведения испытаний
Приложение D (справочное) Сведения о соответствии национальных стандартов Российской Федерации ссылочным международным стандартам
Библиография
Ссылки на другие документы:
ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000
