ГОСТ 8.592-2009 ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Название:
ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"
МФТИ (ГУ)
ФГУ "Российский научный центр "Курчатовский институт"
Опубликован:
2010 Стандартинформ
Изменения:
Область действия:
Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10-9 до 10-6 м.
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов по ГОСТ 8.594 и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов по ГОСТ 8.593 при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов.
Содержание:
1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Геометрические формы и линейные размеры элементов рельефа
5 Требования к материалу для изготовления рельефной меры
Приложение А (справочное) Технологический процесс изготовления рельефной меры с использованием анизотропного травления
Библиография
Ссылки на другие документы:
ГОСТ 8.591-2009 ГСИ. Меры рельефные нанометрического диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
