ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"
ГУ РАН "Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова"
МФТИ (ГУ)
ФГУ "Российский научный центр "Курчатовский институт"
Опубликован:
2010 Стандартинформ
Изменения:
Область действия:
Настоящий стандарт устанавливает методику измерений эффективной высоты шероховатости изотропных поверхностей твердых тел с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа.
Настоящий стандарт применяют при измерениях эффективной высоты шероховатости поверхностей твердых тел в диапазоне от 10-9 до 10-5 м.
Содержание:
1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Требования к погрешности измерений
5 Средства измерений и вспомогательные устройства
6 Метод измерений
7 Требования безопасности
8 Требования к квалификации операторов
9 Условия измерений
10 Подготовка и проведение измерений
11 Обработка результатов измерений
12 Контроль погрешности результатов измерений
13 Оформление результатов измерений
Библиография
Ссылки на другие документы:
ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000
