Настоящий стандарт распространяется на индуктивные прецизионные преобразователи, предназначенные для измерений линейных размеров (параметров) до 100 нм (преобразователи), входящие в общую индуктивную измерительную систему (ИИС), и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.
Содержание:
1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Операции и средства поверки
5 Требования к квалификации поверителей
6 Требования безопасности
7 Условия поверки и подготовка к ней
8 Проведение поверки
9 Обработка результатов измерений
10 Оформление результатов поверки
Библиография
Ссылки на другие документы:
ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000