Настоящий стандарт устанавливает классификацию чистоты твердых поверхностей по концентрации частиц в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах. Рекомендации по методам контроля даны в приложениях A - D.
Настоящий стандарт применим ко всем типам твердых поверхностей чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред, включая стены, потолки, полы, рабочие поверхности, инструменты, оборудование и сам продукт.
Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц (SCP) ограничена размерами частиц от 0,05 мкм до 500 мкм.
Настоящий стандарт не рассматривает:
- требования к поверхностям и их чистоте, определяемые технологическими процессами;
- методы очистки поверхности;
- характеристики материалов;
- закономерности, относящиеся к силам притяжения, возникающим при взаимодействии частицы с поверхностью, или процессам образования частиц, как правило, зависящим от времени и выполняемого процесса;
- статистические методы для классификации и испытаний;
- другие характеристики частиц, такие как электростатический заряд, ионный заряд, микробиологическая структура/состояние и т.д.
Содержание:
1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Условные обозначения и сокращения
5 Классификация
5.1 Определение класса ИСО SCP
5.2 Обозначение класса чистоты
5.3 Общие данные о чистоте поверхности по концентрации частиц
6 Подтверждение соответствия
6.1 Общие принципы
6.2 Контроль чистоты
6.3 Протокол контроля
Приложение А (справочное) Характеристики поверхности
Приложение В (справочное) Дескриптор для специфических размеров частиц
Приложение C (справочное) Параметры, влияющие на определение класса SCP
Приложение D (справочное) Методы определения чистоты поверхности по концентрации частиц
Приложение ДА (справочное) Сведения о соответствии ссылочных международных стандартов ссылочным национальным стандартам Российской Федерации
